廢氣處理設備將惡臭物質以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質合用范圍較廣。其中電子溫度≥離子溫度，可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可達到300-500K。被吸附的氣體組分稱為吸附質，多孔固體物質稱為吸附劑。而低溫等離子體則學非平衡狀態，不同粒子溫度并不相同。
       產業有機廢氣的低溫等離子體的管理設備燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數天生二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。而當吸附進行一段時間后，因為表面吸附質的濃集，使其吸附能力下降而吸附凈化的要求，此時需要采用措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附，以協的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的再生。解吸出的VOCs氣體經由冷凝器、氣液分離器后以較純的VOCs氣體離開汽提塔，被回收利用。